中微半導體設備(上海)股份有限公司(證券簡稱:中微公司,證券代碼:688012)是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工設備公司。通過向全球領先的半導體和LED芯片制造商提供具有競爭力的設備和高質量的服務,中微為客戶的技術水平提升、生產(chǎn)效率提高、生產(chǎn)成本降低和競爭力增強做出了重要貢獻。
中微基于在半導體裝備產(chǎn)業(yè)多年耕耘積累的專業(yè)技術,跨足半導體芯片前端制造、先進封裝、發(fā)光二極管生產(chǎn)、MEMS制造以及其他微觀制程的設備領域,瞄準世界科技前沿,堅持自主創(chuàng)新。
中微的等離子體刻蝕設備和硅通孔刻蝕設備,已被廣泛應用于國際一線客戶從65納米到5納米及更先進工藝的芯片加工制造及先進封裝。中微開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設備也已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn),并在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據(jù)領先地位。中微公司的客戶遍布中國大陸和臺灣、新加坡、韓國、日本、德國、意大利、俄羅斯等國家和地區(qū)。
專利號/專利申請?zhí)?/td> | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL201210378282.X | 等離子體處理裝置及調節(jié)基片邊緣區(qū)域制程速率的方法 | 第二十二屆中國專利獎(2020年) |
標準號 | 標準名稱 | 發(fā)布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2021-10-11 | 2022-05-01 | 詳情 |