上海微電子Smee
國家企業(yè)技術(shù)中心
3個(gè)行業(yè)品牌金鳳冠
3星品牌形象
上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司（簡稱SMEE）主要致力于半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售及技術(shù)服務(wù)。公司設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路前道、先進(jìn)封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造領(lǐng)域。
SMEE致力于以極致服務(wù)，造高端產(chǎn)品，創(chuàng)卓越價(jià)值，全天候、多方位、全身心地為顧客提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。
SMEE已通過ISO27001信息安全、ISO9001質(zhì)量管理和ISO14001環(huán)境管理等體系的國際認(rèn)證，力求為客戶提供持續(xù)、穩(wěn)定、高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)，并履行一個(gè)優(yōu)秀的高科技企業(yè)的社會(huì)責(zé)任。
| 專利號(hào)/專利申請(qǐng)?zhí)?/td> | 專利名稱 | 專利詳情 |
| ZL201310747393.8 | 一種調(diào)焦調(diào)平裝置 | 第二十屆中國專利優(yōu)秀獎(jiǎng)（2018年） |
| ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護(hù)裝置 | 第二十屆中國專利優(yōu)秀獎(jiǎng)（2018年） |
| ZL201110241791.3 | 一種步進(jìn)光刻設(shè)備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優(yōu)秀獎(jiǎng)（2019年） |
| 標(biāo)準(zhǔn)號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)名稱 | 發(fā)布日期 | 實(shí)施日期 | 標(biāo)準(zhǔn)詳情 |
| GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設(shè)備術(shù)語 | 2021-10-11 | 2022-05-01 | 詳情 |
光刻機(jī)
半導(dǎo)體設(shè)備
