北京科華微電子材料有限公司是一家中美合資企業(yè),成立于2004年,是一家產(chǎn)品覆蓋KrF(248nm)、I-line、G-line、紫外寬譜的光刻膠及配套試劑的供應(yīng)商與服務(wù)商,也是集先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品研、產(chǎn)、銷為一體的擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高新技術(shù)企業(yè)。科華微電子擁有中高檔光刻膠生產(chǎn)基地,分別有百噸級(jí)環(huán)化橡膠系紫外負(fù)性光刻膠和千噸級(jí)負(fù)性光刻膠配套試劑生產(chǎn)線、G/I線正膠生產(chǎn)線(500 噸/年)和正膠配套試劑生產(chǎn)線(1000 噸/年)、百噸級(jí)248nm光刻膠生產(chǎn)線。
科華微電子光刻膠產(chǎn)品序列完整,產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋集成電路(IC)、發(fā)光二極管(LED)、分立器件、先進(jìn)封裝、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)等。產(chǎn)品類型覆蓋KrF(248nm)、G/I線(含寬譜),主要包括:KrF光刻膠DK1080、DK2000、DK3000系列;g-i line光刻膠KMP C5000、KMP C7000、KMP C8000、KMP EP3100系列和KMP EP3200A系列;Lift-off工藝使用的負(fù)膠KMP E3000系列;用于分立器件的BN、BP系列等。
科華微電子研發(fā)技術(shù)力量雄厚,擁有多名光刻膠專家,具備很強(qiáng)的光刻膠原材料合成、配方及相關(guān)基礎(chǔ)評(píng)價(jià)能力;能夠持續(xù)推出符合客戶需求的新產(chǎn)品;科華微電子自成立以來(lái),承擔(dān)了多項(xiàng)國(guó)家、北京市級(jí)光刻膠重點(diǎn)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。
科華微電子有完備的支持產(chǎn)品研發(fā)和出廠檢驗(yàn)的分析和應(yīng)用測(cè)試平臺(tái)。公司擁有兩個(gè)mini FAB,有分辨率達(dá)到0.11um的ASML PAS5500/850掃描式曝光機(jī)、Nikon步進(jìn)式曝光機(jī)、TEL ACT8涂膠顯影一體機(jī)和Hitachi S9220 CD SEM等主流設(shè)備。上述測(cè)試平臺(tái)保障了科華能夠開展KrF、G/I線光刻膠產(chǎn)品及關(guān)鍵原料的開發(fā)與全面評(píng)估。
科華微電子管理體系完整,擁有質(zhì)量管理體系(ISO9001)、環(huán)境管理體系(ISO14001)、職業(yè)健康安全管理體系(ISO45001)和有害物質(zhì)過(guò)程管理體系(IECQ QC080000)四個(gè)體系。科華微電子產(chǎn)品技術(shù)先進(jìn),擁有國(guó)內(nèi)或國(guó)際專利數(shù)項(xiàng),產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,是中芯國(guó)際、上海華力微電子、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華潤(rùn)上華、杭州士蘭、吉林華微電子、三安光電、華燦光電等行業(yè)知名客戶的穩(wěn)定合作伙伴。經(jīng)過(guò)十多年的發(fā)展,公司已具相當(dāng)規(guī)模和品牌影響力,公司將致力于成為一家先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品供應(yīng)商與服務(wù)商。