浙江晶盛機電股份有限公司創(chuàng)建于2006年,于2012年上市。
晶盛機電圍繞硅、藍寶石、碳化硅三大主要半導體材料開發(fā)一系列關鍵設備,并延伸至化合物襯底材料領域,為半導體、光伏行業(yè)提供全球頗具競爭力的高端裝備和高品質服務。
晶盛機電是全球光伏裝備技術前沿和規(guī)模前沿的企業(yè),國內集成電路級8-12英寸大硅片生長及加工設備先導企業(yè),公司大尺寸藍寶石晶體生長工藝和技術具備強大的競爭力,是掌握核心技術和規(guī)模優(yōu)勢的龍頭企業(yè)。公司為半導體產業(yè)、光伏產業(yè)和化合物襯底產業(yè)提供智能化工廠解決方案,滿足客戶數字化智能化的生產模式需求。
專利號/專利申請?zhí)?/td> | 專利名稱 | 專利詳情 |
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CN201720026897.4 | 一種用于藍寶石晶片多線切割機的斷線檢測裝置 | 詳情 |
CN201720040750.0 | 帶有抽真空系統(tǒng)的平板式PECVD工藝腔 | 詳情 |
CN201120277027.7 | 氣致冷多晶硅鑄錠爐的閉式冷卻系統(tǒng) | 詳情 |
CN201630120626.6 | 金剛線單晶硅棒切磨一體機(WCG700-ZJS) | 詳情 |
標準號 | 標準名稱 | 發(fā)布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2021-10-11 | 2022-05-01 | 詳情 |