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著錄信息

  • 專利名稱:半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu)、其測(cè)試方法及其制造方法
  • 專利類型:發(fā)明
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/em>CN201210526395.X
  • 公開(kāi)(公告)號(hào):CN103872016B
  • 申請(qǐng)日:20121207
  • 公開(kāi)(公告)日:20160907
  • 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
  • 發(fā)明人:許曉鋒,宋永梁
  • 申請(qǐng)人地址:201203 上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào)
  • 申請(qǐng)人區(qū)域代碼:CN310115
  • 專利權(quán)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
  • 洛迦諾分類:無(wú)
  • IPC:H01L23/544,H01L21/768,G01R31/26
  • 優(yōu)先權(quán):無(wú)
  • 專利代理機(jī)構(gòu):上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
  • 代理人:屈蘅;李時(shí)云
  • 審查員:劉瑋德
  • 國(guó)際申請(qǐng):無(wú)
  • 國(guó)際公開(kāi)(公告):無(wú)
  • 進(jìn)入國(guó)家日期:無(wú)
  • 分案申請(qǐng):無(wú)

關(guān)鍵詞

測(cè)試,柵結(jié)構(gòu),半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu),第二類型阱,測(cè)試階段,電容結(jié)構(gòu),柵介質(zhì)層,摻雜區(qū),襯底,封裝,半導(dǎo)體,測(cè)試成本,測(cè)試效率,襯底電流,隔離結(jié)構(gòu),柵導(dǎo)電層,振蕩電流,漏區(qū),節(jié)約,制造
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