著錄信息
- 專利名稱:半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu)、其測(cè)試方法及其制造方法
- 專利類型:發(fā)明
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/em>CN201210526395.X
- 公開(kāi)(公告)號(hào):CN103872016B
- 申請(qǐng)日:20121207
- 公開(kāi)(公告)日:20160907
- 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
- 發(fā)明人:許曉鋒,宋永梁
- 申請(qǐng)人地址:201203 上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào)
- 申請(qǐng)人區(qū)域代碼:CN310115
- 專利權(quán)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
- 洛迦諾分類:無(wú)
- IPC:H01L23/544,H01L21/768,G01R31/26
- 優(yōu)先權(quán):無(wú)
- 專利代理機(jī)構(gòu):上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
- 代理人:屈蘅;李時(shí)云
- 審查員:劉瑋德
- 國(guó)際申請(qǐng):無(wú)
- 國(guó)際公開(kāi)(公告):無(wú)
- 進(jìn)入國(guó)家日期:無(wú)
- 分案申請(qǐng):無(wú)
關(guān)鍵詞
測(cè)試,柵結(jié)構(gòu),半導(dǎo)體測(cè)試結(jié)構(gòu),第二類型阱,測(cè)試階段,電容結(jié)構(gòu),柵介質(zhì)層,摻雜區(qū),襯底,封裝,半導(dǎo)體,測(cè)試成本,測(cè)試效率,襯底電流,隔離結(jié)構(gòu),柵導(dǎo)電層,振蕩電流,漏區(qū),節(jié)約,制造
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