著錄信息
- 專利名稱：晶圓清洗機(jī)
- 專利類型：實(shí)用新型
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/em>CN201420146111.9
- 公開(公告)號(hào)：CN203760441U
- 申請(qǐng)日：20140328
- 公開(公告)日：20140806
- 申請(qǐng)人：沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司
- 發(fā)明人：馬巖,白雪峰,榮宇,郝鑫
- 申請(qǐng)人地址：110043 遼寧省沈陽市大東區(qū)北海街242號(hào)
- 申請(qǐng)人區(qū)域代碼：CN210104
- 專利權(quán)人：沈陽儀表科學(xué)研究院有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：H01L21/67
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機(jī)構(gòu)：沈陽科威專利代理有限責(zé)任公司 21101
- 代理人：楊濱
- 審查員：無
- 國際申請(qǐng)：無
- 國際公開(公告)：無
- 進(jìn)入國家日期：無
- 分案申請(qǐng)：無
關(guān)鍵詞
真空軸,殼體,步進(jìn)電機(jī),伺服電機(jī),擺桿,噴頭,吸盤,伺服系統(tǒng)控制,真空發(fā)生器,硅片清洗,技術(shù)要點(diǎn),伺服系統(tǒng),維護(hù)成本,清洗機(jī),輸出端,輸出軸,晶圓,固定
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