一、制造芯片一定要光刻機(jī)嗎
芯片生產(chǎn)是一定要光刻機(jī)的。光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一。目前有用于生產(chǎn)的光刻機(jī),有用于LED制造領(lǐng)域的光刻機(jī),還有用于封裝的光刻機(jī)。光刻機(jī)是采用類似照片沖印的技術(shù),然后把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上。
在加工芯片的過(guò)程中,光刻機(jī)通過(guò)一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過(guò)畫著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,然后使用化學(xué)方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖。
光刻機(jī)是半導(dǎo)體行業(yè)最重要的設(shè)備之一,是“沙子變芯片”最重要的設(shè)備。離開(kāi)光刻機(jī),玩不轉(zhuǎn)芯片,離開(kāi)高端光刻機(jī),玩不轉(zhuǎn)高端芯片。目前,還沒(méi)有替代設(shè)備能夠代替光刻機(jī)。
二、蝕刻機(jī)能代替光刻機(jī)嗎
蝕刻機(jī)不能代替光刻機(jī)。光刻機(jī)的精度和難度的要求都比蝕刻機(jī)高出很多,在需要光刻機(jī)加工的時(shí)候蝕刻機(jī)有些不能辦到,并且蝕刻機(jī)的精度十分籠統(tǒng),而光刻機(jī)對(duì)精度的要求十分細(xì)致,所以蝕刻機(jī)不能代替光刻機(jī)。
蝕刻機(jī)和光刻機(jī)無(wú)論是從工藝、流程、設(shè)備性能、精度等方面都有很大的區(qū)別,主要區(qū)別如下:
光刻機(jī)的難度大于蝕刻機(jī),光刻機(jī)是把圖案印上去,而蝕刻機(jī)是根據(jù)打印的圖案去掉有無(wú)圖案的部分,將剩下的留下。