一、硅片清洗設(shè)備維修方法有哪些

1、換能器損壞：

分析：可能硅片清洗設(shè)備因長時(shí)間處于開機(jī)使用狀態(tài)，溫度會逐漸上升導(dǎo)致膠體融化換能器脫落或換能器陶瓷部分?jǐn)嗔选?/p>

檢測和解決：用搖表測量換能器的絕緣強(qiáng)度，絕緣強(qiáng)度在200MΩ以下已無法使用，須換新的換能器。

換能器的內(nèi)部陶瓷也會由于長期使用出現(xiàn)斷裂，使其不能正常工作。

2、硅片清洗設(shè)備的保險(xiǎn)損壞：

在開機(jī)后如發(fā)現(xiàn)無電源顯示，無動作，首先要看電源座內(nèi)保險(xiǎn)是否損壞。

分析：有可能是用戶接地線與火線或零線混用，并沒有接地（本機(jī)地線是與機(jī)器外殼相連接），還有可能是硅片清洗設(shè)備短路，元器件老化出現(xiàn)短路現(xiàn)象，導(dǎo)致保險(xiǎn)損壞。

檢測和解決：拿出保險(xiǎn)觀看，有無斷裂，用萬用表通斷檔測量是否斷開，更換新器件。

3、硅片清洗設(shè)備的功率管損壞：

分析：主板上的功率管會因?yàn)槌暡ㄇ逑礄C(jī)長時(shí)間不間斷使用或清洗液體太少長時(shí)間使用，使功率管出現(xiàn)短路情況。

檢測和解決：當(dāng)功率管在主板上連接式，用萬用表測量功率管兩側(cè)管腳的阻值，正常情況下應(yīng)在22Ω左右。拿下功率管后（與主板斷開連接），測量其各個(gè)管腳間應(yīng)是不通的。

二、硅片清洗設(shè)備怎么保養(yǎng)

硅片清洗的重要性想必大家是很清楚的，而清洗后硅片表面的各種性能在一定程度上又由清洗設(shè)備本身決定，因此，對硅片清洗設(shè)備的日常監(jiān)控和維護(hù)就尤為重要。

1、進(jìn)行日常的生產(chǎn)時(shí)，首先需準(zhǔn)備少量潔凈的硅片（如10片），每天在進(jìn)行正常的硅片清洗前，對該10個(gè)桂片進(jìn)行清洗，且在清洗前后對該硅片進(jìn)行表面顆粒的檢測，然后對測試結(jié)果進(jìn)行分析。

如果發(fā)現(xiàn)清洗后硅片表面的顆粒數(shù)跟金屬沾污較清洗前減少或無明顯變化，則表面清洗設(shè)備工作正常，可以進(jìn)行正常的硅片清洗；如果發(fā)現(xiàn)清洗后硅片表面顆粒數(shù)跟金屬沾污較清洗前明顯增加，則表明清洗機(jī)工作異常，需進(jìn)行相應(yīng)的維護(hù)。

針對此工作也可以根據(jù)生產(chǎn)的具體情況對其即進(jìn)行SPC控制，即：顆粒去除數(shù)=清洗后顆粒數(shù)-清洗前顆粒數(shù)

2、硅片在清洗過程中，如發(fā)現(xiàn)硅片表面顆粒跟金屬沾污超標(biāo)，則需進(jìn)行如下處理：

（1）將各槽中原液排干，用DI水將槽子沖洗一次，然后將槽中水排盡。

（2）加入少許（lgallon）DI水，然后加入lgal-lonH2O2，再加入少許DI水，然后加工入lgallonNH4OH，再加DI水至槽滿。如果是工藝槽，則讓混合液循環(huán)2h，否則靜置2h。

（3）將槽中液排盡，用DI水再次沖洗槽子一次，將槽液排盡。

（4）重新對清洗設(shè)備進(jìn)行測試。