一、光學(xué)3d輪廓測量儀是什么

光學(xué)3d輪廓測量儀也叫白光干涉儀，是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的3D三維測量儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。光學(xué)3d輪廓測量儀是以白光干涉測量技術(shù)為基礎(chǔ)而研發(fā)生產(chǎn)的，采用的是非接觸式光學(xué)測量，在獲得實時數(shù)據(jù)的同時，不會對產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域，除了光學(xué)3d輪廓測量儀，其它儀器達不到檢測的精度要求。

光學(xué)3d輪廓測量儀的優(yōu)點：

1、非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件。

2、測量速度快，不必像探頭逐點進行測量。

3、不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置。

4、對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。

二、光學(xué)3d輪廓測量儀的參數(shù)有哪些

1、Z向分辨率：0.1nm

2、橫向分辨率（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm

4、表面形貌重復(fù)性：0.1nm

5、臺階測量：重復(fù)性：0.1%；準確度：0.75%

6、主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效。