一、半導(dǎo)體芯片封裝材料有哪些
材料和設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石,一代技術(shù)依賴于一代工藝,一代工藝依賴于一代材料和設(shè)備來實(shí)現(xiàn),半導(dǎo)體芯片的封裝材料主要有:
1、封裝基板
封裝基板可為芯片提供電連接、保護(hù)、支撐、散熱、組裝等功能,可實(shí)現(xiàn)多引腳化,縮小封裝產(chǎn)品體積、改善電性能及散熱性、超高密度或多芯片模塊化等效果。
2、封裝框架
封裝框架包括框架本體、位于框架本體上的基島、連接基島和框架本體的支撐腳、連接框架本體上與基島外圍的引腳,框架本體上設(shè)有若干金屬導(dǎo)電片,引腳與金屬導(dǎo)電片電性連接,以實(shí)現(xiàn)全部或部分引腳之間的短接。
3、塑封料
塑封料的作用在于提供結(jié)構(gòu)和機(jī)械支撐,保護(hù)電子元器件不受環(huán)境的損害(機(jī)械沖擊、水汽、溫度等),維持電路絕緣性。
4、線材
線材方面主要是金線和銅線,目前金線已經(jīng)因?yàn)楦叱杀荆惶叱鱿M(fèi)類芯片封裝測(cè)試產(chǎn)品市場(chǎng);替而代之的是銅線、合金線等。
5、膠材
包括間接材料的藍(lán)膜、UV膜,還有銀膠、DAF膜等。
二、半導(dǎo)體封裝設(shè)備有哪些
除了材料以外,半導(dǎo)體芯片的封裝還需要用到專門的半導(dǎo)體封裝設(shè)備,主要包括:
1、減薄機(jī)
由于制造工藝的要求,對(duì)晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結(jié)構(gòu)提出很高要求。因此在幾百道工藝流程中只能采用一定厚度的晶片在工藝過程中傳遞、流片。通常在集成電路封裝前,需要對(duì)晶片背面多余的基體材料去除一定的厚度。這一工藝過程稱之為晶片背面減薄工藝,對(duì)應(yīng)裝備就是晶片減薄機(jī)。減薄機(jī)是通過減?。心サ姆绞綄?duì)晶片襯底進(jìn)行減薄,改善芯片散熱效果,減薄到一定厚度有利于后期封裝工藝。
2、劃片機(jī)
劃片機(jī)包括砂輪劃片機(jī)和激光劃片機(jī)兩類。其中,砂輪劃片機(jī)是綜合了水氣電、空氣靜壓高速主軸、精密機(jī)械傳動(dòng)、傳感器及自動(dòng)化控制等技術(shù)的精密數(shù)控設(shè)備。主要用于硅集成電路,發(fā)光二極管,鈮酸鋰,壓電陶瓷,砷化鎵,藍(lán)寶石,氧化鋁,氧化鐵,石英,玻璃,陶瓷,太陽(yáng)能電池片等材料的劃切加工。
激光劃片機(jī)是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片的目的。因激光是經(jīng)專用光學(xué)系統(tǒng)聚焦后成為一個(gè)非常小的光點(diǎn),能量密度高,因其加工是非接觸式的,對(duì)工件本身無(wú)機(jī)械沖壓力,工件不易變形。熱影響極小,劃精度高,廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池板、薄金屬片的切割和劃片。
3、測(cè)試機(jī)
測(cè)試機(jī)是檢測(cè)芯片功能和性能的專用設(shè)備。測(cè)試時(shí),測(cè)試機(jī)對(duì)待測(cè)芯片施加輸入信號(hào),得到輸出信號(hào)與預(yù)期值進(jìn)行比較,判斷芯片的電性性能和產(chǎn)品功能的有效性。在CP、FT檢測(cè)環(huán)節(jié)內(nèi),測(cè)試機(jī)會(huì)分別將結(jié)果傳輸給探針臺(tái)和分選機(jī)。當(dāng)探針臺(tái)接收到測(cè)試結(jié)果后,會(huì)進(jìn)行噴墨操作以標(biāo)記出晶圓上有缺損的芯片;而當(dāng)分選器接收到來自測(cè)試機(jī)的結(jié)果后,則會(huì)對(duì)芯片進(jìn)行取舍和分類。
4、分選機(jī)
分選設(shè)備應(yīng)用于芯片封裝之后的FT測(cè)試環(huán)節(jié),它是提供芯片篩選、分類功能的后道測(cè)試設(shè)備。分選機(jī)負(fù)責(zé)將輸入的芯片按照系統(tǒng)設(shè)計(jì)的取放方式運(yùn)輸?shù)綔y(cè)試模塊完成電路壓測(cè),在此步驟內(nèi)分選機(jī)依據(jù)測(cè)試結(jié)果對(duì)電路進(jìn)行取舍和分類。分選機(jī)按照系統(tǒng)結(jié)構(gòu)可以分為三大類別,即重力式(Gravity)分選機(jī)、轉(zhuǎn)塔式(Turret)分選機(jī)、平移拾取和放置式(PickandPlace)分選機(jī)。
5、探針機(jī)
探針臺(tái)用于晶圓加工之后、芯片封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。探針臺(tái)的工作流程為:通過載片臺(tái)將晶圓移動(dòng)到晶圓相機(jī)下→通過晶圓相機(jī)拍攝晶圓圖像,確定晶圓位置→將探針相機(jī)移動(dòng)到探針卡下,確定探針頭位置→將晶圓移動(dòng)到探針卡下→通過載片臺(tái)垂直方向運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)針。