一、硅晶圓是什么
硅晶圓就是硅元素加以純化(99.999%),接著是將這些純硅制成長硅晶棒,成為制造積體電路的石英半導(dǎo)體的材料,經(jīng)過照相制版,研磨,拋光,切片等程序,將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圓。
二、硅晶圓的特點(diǎn)有哪些
硅材料制作的晶圓具有高純度、良好的機(jī)械加工性和尺寸穩(wěn)定性,是制作半導(dǎo)體集成電路和光電子器件的重要材料。
1、高純度
硅材料制作的晶圓具有高純度的特點(diǎn),可通過單晶生長和多晶熔軋等工藝獲得。高純度的晶圓可保證電子器件中的光、電、熱性能,從而使器件具有更高的可靠性和長壽命。
2、良好的機(jī)械加工性
硅材料制作的晶圓具有良好的機(jī)械加工性能,可進(jìn)行水切、磨削、玻璃噴砂等加工工藝。這一特點(diǎn)使硅晶圓可方便地進(jìn)行精確的加工和制造,從而滿足半導(dǎo)體行業(yè)對晶圓加工精度的要求。
3、尺寸穩(wěn)定性
硅材料制作的晶圓具有尺寸穩(wěn)定性,且可保持高度的平面度。這種特性使得硅晶圓可廣泛應(yīng)用于制造半導(dǎo)體器件。硅晶圓表現(xiàn)出良好的尺寸穩(wěn)定性和平面度,這有助于提高電子器件制造的質(zhì)量和效率。
三、硅晶圓為什么是圓的
因?yàn)橹谱鞴に嚊Q定了它是圓形的。提純過后的高純度多晶硅是在一個子晶(seed)上旋轉(zhuǎn)生長出來的。多晶硅被融化后放入一個坩堝(Quartz Crucible)中,再將子晶放入坩堝中勻速轉(zhuǎn)動并且向上提拉,則熔融的硅會沿著子晶向形成一個圓柱體的硅錠(ingot),然后硅錠再經(jīng)過金剛線切割變成硅片,硅片經(jīng)過打磨等處理后就可以進(jìn)行后續(xù)的工序了。
單晶直拉法工藝中的旋轉(zhuǎn)提拉決定了硅錠的圓柱型,從而決定晶圓是圓形的。