一、硅晶圓和芯片有什么關(guān)系
硅晶圓一般采用p型或n型單晶硅制成,具有高純度、高穩(wěn)定性、高可加工性等優(yōu)點(diǎn)。那么你知道硅晶圓和芯片究竟有什么關(guān)系嗎?
硅晶圓和芯片是半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可或缺的兩個(gè)元素,硅晶圓作為芯片的基礎(chǔ)材料,為芯片提供了可靠的物理支撐。芯片制作過(guò)程離不開(kāi)硅晶圓,無(wú)論是電路圖案的制作還是電路的連接和元器件的生長(zhǎng),都需要硅晶圓的支持。硅晶圓的質(zhì)量和性能對(duì)芯片的質(zhì)量和性能有著直接的影響。
二、硅晶圓在芯片制造中的重要作用
前文已經(jīng)簡(jiǎn)單的了解到硅晶圓是芯片制造的基礎(chǔ),芯片離不開(kāi)硅晶圓。那么具體的硅晶圓在芯片制造中的重要作用體現(xiàn)在哪些方面呢?
1、芯片刻畫(huà)
芯片刻畫(huà)是制作芯片的重要步驟之一,硅晶圓作為芯片刻畫(huà)的載體,具有很好的機(jī)械穩(wěn)定性和高度的表面平整度,能夠承載半導(dǎo)體器件的各種圖形,以及各種圖形的加工和制作流程。
2、化學(xué)加工
化學(xué)加工是芯片制造的重要步驟之一。通過(guò)對(duì)硅晶圓表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),可以在表面形成氧化層、硝化層等,達(dá)到保護(hù)、改性和創(chuàng)造新的表面結(jié)構(gòu)等多種目的。
3、光刻
光刻是芯片制造中重要的工藝,用光刻技術(shù)將掩膜上的圖案通過(guò)硅晶圓上的紫外光投射到光致蝕性的光刻膠或者氧化硅上,使得芯片上的此區(qū)域留下片上圖形或者形變,從而達(dá)到芯片制造的目的。
三、為什么芯片是方的,晶圓是圓的
1、在生產(chǎn)芯片的過(guò)程中,圓形晶圓由于力學(xué)因素生產(chǎn)更方便,良率更高,且硅棒天然是圓柱型,晶圓自然也就是圓形了。
2、硅片在經(jīng)過(guò)涂膠、光刻、刻蝕、離子注入等步驟后,一顆顆芯片才會(huì)被制造出來(lái),不過(guò)此時(shí)芯片還是“長(zhǎng)”在晶圓上的,需要經(jīng)過(guò)切割才能變成一顆顆單獨(dú)的芯片。方形的芯片僅需幾刀就可以全部切下。圓形的芯片,恐怕就要耗費(fèi)比方形幾倍的時(shí)間來(lái)切割了。最重要的一點(diǎn),圓形芯片并不能解決硅片面積浪費(fèi)的問(wèn)題。