1981年09月 - 1985年07月,就讀于華中工學(xué)院(現(xiàn)華中科技大學(xué))機(jī)械工程系大學(xué)本科,獲得學(xué)士學(xué)位。
1985年09月 - 1987年06月,就讀于華中工學(xué)院(現(xiàn)華中科技大學(xué))機(jī)械工程系碩士研究生,獲得碩士學(xué)位。
1987年09月 - 1990年06月,就讀于華中理工大學(xué)機(jī)械工程系博士研究生,獲得博士學(xué)位。
1990年06月 - 1992年11月,博士畢業(yè)后留在華中理工大學(xué)機(jī)械工程系工作。
1990年11月 - 1992年11月,在清華大學(xué)光學(xué)工程博士后科研流動(dòng)站從事研究工作。
1992年12月,博士后出站后在清華大學(xué)精密儀器系工作。
1994年,晉升教授。
1994年 - 2005年,擔(dān)任清華大學(xué)精密儀器系副主任。
1998年10月 - 2000年03月,擔(dān)任英國(guó)薩里大學(xué)空間中心訪問(wèn)教授。
2005年 - 2007年,擔(dān)任清華大學(xué)精密儀器系主任。
2005年,入選國(guó)家“新世紀(jì)百千萬(wàn)人才工程”。
2007年 - 2012年,擔(dān)任清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院第三任院長(zhǎng)。
2012年 - 2014年,擔(dān)任清華大學(xué)精密儀器系主任。
2013年12月19日,當(dāng)選中國(guó)工程院院士。
2014年 - 2015年,擔(dān)任清華大學(xué)校長(zhǎng)助理。
2014年,揚(yáng)州市產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院成立,受聘擔(dān)任院長(zhǎng)。
2015年09月 - 2021年10月,擔(dān)任清華大學(xué)黨委常委、副校長(zhǎng)。
2015年,擔(dān)任清華大學(xué)學(xué)科規(guī)劃與建設(shè)辦公室主任。
2021年05月,擔(dān)任中國(guó)科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)第十屆全國(guó)委員會(huì)副主席。
2021年10月至今,擔(dān)任華中科技大學(xué)常委副書(shū)記、校長(zhǎng)(副部長(zhǎng)級(jí))。
1996年,榮獲“國(guó)家教育委員會(huì)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步二等獎(jiǎng)”。
2003年,榮獲“北京市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)”。
2004年,榮獲“國(guó)防科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)”。
2004年,榮獲“北京市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)”。
2007年,項(xiàng)目《空間微系統(tǒng)及納型衛(wèi)星》榮獲“國(guó)家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)”。
2008年,項(xiàng)目《新型超級(jí)電容器及其應(yīng)用》榮獲“北京市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)”。
2011年,項(xiàng)目《基于微米納米技術(shù)的新型超級(jí)電容器及其實(shí)現(xiàn)》榮獲“國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)”。
2012年,項(xiàng)目《先進(jìn)空間光學(xué)姿態(tài)敏感器技術(shù)》榮獲“國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)”。
2016年,項(xiàng)目《空間微系統(tǒng)與微納衛(wèi)星》榮獲“第四屆中國(guó)出版政府獎(jiǎng)”(圖書(shū)獎(jiǎng))。
2019年,項(xiàng)目《先進(jìn)MEMS衛(wèi)星設(shè)計(jì)制造關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用》榮獲“國(guó)家技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)”。
2020年,榮獲“中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)”。