1981年,考入合肥工業(yè)大學(xué),先后獲得學(xué)士、碩士學(xué)位。
1998年,獲得北京航空航天大學(xué)博士學(xué)位。
2000年,被聘為中國科學(xué)院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術(shù)研究室主任。
2018年,出任中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)國家示范性微電子學(xué)院院長。
2022年08月11日,擔(dān)任中芯國際董事會審計委員會成員。
2015年,當(dāng)選中國科學(xué)院院士。
2017年03月08日,榮獲中國科學(xué)院第五屆“十大杰出婦女”榮譽(yù)稱號。
2018年,當(dāng)選為發(fā)展中國家科學(xué)院院士。
2007年,項目《中高頻聲表面波關(guān)鍵材料及技術(shù)研究》榮獲“國家技術(shù)發(fā)明二等獎”。
2009年,項目《移動通訊用濾波器關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化》榮獲“國家科技進(jìn)步二等獎”。
2010年,項目《微納結(jié)構(gòu)‘自上而下’制備核心技術(shù)與集成應(yīng)用》榮獲“北京市科學(xué)技術(shù)一等獎”。
2013年,項目《高精度微納結(jié)構(gòu)掩模制造核心技術(shù)》榮獲“國家技術(shù)發(fā)明二等獎”。
2014年,項目《阻變存儲器及集成的基礎(chǔ)研究》榮獲“北京市科學(xué)技術(shù)二等獎”。